山东力冠微电子装备有限公司

山东力冠微电子装备有限公司成立于2013年，是一家集研发、生产、销售为一体的半导体工艺设备企业。公司集中业内科技人才致力于为广大客户提供产线标准化产品、非标产品高端定制服务，与国内知名半导体企业、科研院校等保持密切合作，产品被广泛运用于重要科技攻关项目中，为我国半导体工艺事业做出了积极贡献。山东力冠微电子装备有限公司在吸取国内外先进技术和工艺的基础上，集多年来在半导体行业的智慧和经验，产品的精度、稳定性、可靠性居全国领先地位。
目前公司主要产品有：
第一代半导体设备: LPCVD、 PECVD、 立式扩散炉、LPE外延炉、真空退火炉、氧化扩散炉、加热器。
第二代半导体设备：磷化铟（InP）单晶生长设备、砷化镓（GaAs）单晶生长设备。
第三代半导体设备:氮化镓HVPE晶体生长设备、碳化硅PVT晶体生长设备、金刚石MPCVD设备。
晶体设备:晶体提拉炉、坩埚下降炉、微下拉晶体生长炉、助熔剂法提拉炉。
石墨烯设备:石墨烯氟化粉体设备、石墨烯薄膜CVD设备、石墨烯卷对卷设备

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