中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创立于1958年。经过半个世纪的发展，公司以创新为理念，以真空技术为基础，面向高端科研仪器、半导体、太阳能、LED等高科技、新材料、新能源领域，以装备制造为主业，成为集研发、生产、销售、服务为一体的现代企业。 主要产品： 1. 真空应用产品： （1）真空薄膜仪器设备：MBE分子束外延设备，PVD镀膜设备，CVD镀膜设备等； （2）新材料制备设备：真空冶金设备，晶体材料制备设备等； （3）国家大科学工程装置：真空互联，同步辐射等； 2. 真空获得产品：系列罗茨干泵（机组）、涡旋干泵及真空部件等。
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