实陆仪器（简称SSI）自2007年成立以来，历经15余年的发展，积累了相当丰富的超高真空、PVD薄膜 生长、原位分析表征、高低温等技术经验。研制出具有自主知识产权的，MBE（分子束外延）、UHV- Sputter（超高真空磁控溅射）、PLD（脉冲激光沉积）、EBE（电子束蒸发）、TES（热蒸发）等为代 表的高端薄膜设备，以及AES（俄歇）等表征仪器，并通过UHV LTS/RDC（超高真空互联系统）将上述 PVD工作站与表征仪器工作站互联起来实现原位生长和分析。这些高端设备已经被中国科学院下属诸 多研究所、清华大学、北京大学、南京大学、上海科技大学、厦门大学、南方科技大学、中山大学等 高校实验室大量采购使用，广泛应用于中国的基础科研。SSI掌握多项核心技术，拥有数十项专利， 获得了高新技术企业认证。
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中国材料大会2022-2023
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