X射线光电子能谱（X-ray photoelectron spectroscopy, XPS）是一种基于光电效应的高端表面分析设备。 它提供的是样品表面（3到10纳米深度）的元素组成、相对含量和化学环境信息，是一种无损的检测方法，可检测 除氢気以外的所有元素，广泛应用于能源、环境、生物医药、半导体、高温合金、二维材料、纳米材料等诸多领 域，在基础研究、检测分析、工业应用上均有着越来越广泛和重要的应用需求。
系统主要构成
参数指标
分析腔体
标准化设计；接口丰富，可扩展性强；真空度优于5X10』。Torr
快速进样腔体
标准化设计；接口丰富，可扩展性强；真空度优于5X10-8 Torr
制备腔体
标准化设计与可定制化兼有；扩展性强，可与MBE等系统互联；真空度优于5x10-10Torr
样品台
集成标准化液氮插杆；4轴或5轴可定制；行程可定制；可选电子束加热或辐射加热
能量分析器
依据性能指标进行选配
X射线源
单色化SX300 mono X-ray source与双阳极可选（性能见测试数据）
