分子束外延生长（MBE）是一种在高真空或超高真空环境下，利用蒸 发源加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子束或原子束，直接喷射 到适当温度的基片上，在目标样品表面形成高纯度薄膜的薄膜制备技术。 外延生长原子级精确控制的超薄多层二维结构材料和器件（超品格、量子 阱、调制掺杂异质结、量子阱激光器、高电子迁移率晶体管等）；结合其 它工艺，还可制备一维和零维的纳米材料（量子线、量子点等）。
激光分子束外延系统（LMBE）集PLD的制膜特点和传统MBE的超高真空
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组成 |
名称 |
参数指标 |
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本底真空度 |
< 1X10wmbar |
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抽气系统 |
前级机械泵、分子泵、离子泵、TSP等（Edwards、Pfeiffer. Leybold） |
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冷井（可选） |
液氮冷井或双层水冷 |
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真空规 |
热阴极离子规（2X10-11mbar） |
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夕卜延生长室 |
样品操纵台 |
四轴或五轴自由度，匹配标准flag-type样品托，工作温度室温-1400k, 可加配液氮低温模块 |
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样品加热方式 |
热辐射、电子束加热、直流加热 |
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蒸发源接口 |
标配1-7个，可根据要求定制 |
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预留接口 可用于加装 |
反射式高能电子衍射仪（RHEED）、膜厚测量仪（QCM）、精密进 气管路、氯离子源（Ion Source）、四级杆质谱分析仪（RGA）、红 外测温仪等 |
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本底真空度 |
< 5X10_8mbar |
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快速进样室 |
抽气系统 |
前级机械泵、分子泵（Edwards、Pfeiffer、Leybold） |
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真空规 |
全量程真空计（5 X10-9mbar至大气） |
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样品存储 |
6-8个（可定制） |
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烘烤模块 |
—体式烘箱，温度150°C, PID控温 |
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烘烤和控制模块 |
控制模块 |
—键真空启停、互锁保护、全自动薄膜生长程序，实时记录和采集运行 参数 |
