| 材料 | 身体 | 304S.S.（*1） | ||
| 盘子 | 304S.S.（*1） | |||
| 轴 | 304S.S. | |||
| 浇口密封 | 氟橡胶 | |||
| 轴封 | 氟橡胶 | |||
| 法兰 | KF、ISO、CF | |||
| 安装方向 | 任何 | |||
| 循环至首次服务 | 压力控制 | 2,000,000(*2) | ||
| 闭幕/开盘 | 250,000 | |||
| 1 个大气压差下的氦气泄漏率 | < 1 x 10-9 毫巴/秒 | |||
| 压力范围 | 1 x 10-8 毫巴至 1.2 巴 | |||
| 工作温度 | 身体 | 10°C 至 110°C | ||
| 驱动器 | 步进电机 | |||
| 选项 |
一个。通讯接口（RS232，RS485） b.模拟输入（12位，24位） |
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| 标准配件 | 数字节点（4进/4出） | |||
(*1)主体和板材材料可以选择铝合金。
(*2)阀门的循环寿命适用于室温25°C和清洁环境，开启动作适用于小于10毫巴的压差。（如果打开动作超过 10 mbar 的压差，则不在此保修范围内。
(*3)如果阀门的工作状态出现颗粒问题，请定期清洁阀板和阀体，并在这些部件上涂抹一些真空润滑脂。
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控制和执行单元 |
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| 输入电压 | +24 伏直流（±10%） | 连接器：电源 | |||
| 功耗 | 最大100W（控制器+电机+传感器+电源+故障） | 连接器：电源 | |||
| 传感器电源输出 | +24 伏直流 /+-15 伏直流，500 毫安 | 连接器：传感器 | |||
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模拟输入 |
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| 传感器数量 | 独立 2 通道 | 连接器：传感器 | |||
| 输入电压 | 0-10V 直流线性 物理量 | 连接器：传感器 | |||
| 分辨率 | 12位 | 2.3 毫伏 | 连接器：传感器 | ||
| 24位 | 0.5 毫伏 | ||||
| 采样率 | 1 毫秒 | 连接器：传感器 | |||
| 输入电阻 | Ri>=21kΩ | 连接器：传感器 | |||
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模拟输出 |
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| 传感器数量 | 独立 2 通道 | 连接器：接口 | |||
| 输出电压 | 0-10V 直流线性 | 连接器：接口 | |||
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数字输入/输出 |
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| 输入 |
独立 2 通道，可选 4 通道 |
连接器：接口 | |||
| 输出 |
独立 2 通道，可选 4 通道 |
连接器：接口 | |||
| 允许温度 |
≦70°C-24HR |
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| 压力控制精度 |
最大传感器范围的 0.1% |
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| 备用电源 |
是的 |
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KF25，KF40，KF50，CF35 |
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| 关门时间 |
<0.85秒 |
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| 开放时间 |
<0.85秒 |
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| 阀门最大扭矩 |
50公斤-厘米 |
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| 位置修正 |
8000（步长0-90旋转） |
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ISO63， ISO80， ISO100， CF63， CF100 |
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| 关门时间 |
<0.85秒 |
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| 开放时间 |
<0.85秒 |
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| 阀门最大扭矩 |
50公斤-厘米 |
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| 位置修正 |
8000（步长0-90旋转） |
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ISO160， CF150 |
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| 关门时间 |
<3.5秒 |
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| 开放时间 |
<3.5秒 |
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| 阀门最大扭矩 |
90公斤-厘米 |
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| 位置修正 |
2400（步长0-90旋转） |
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