HAP-100系列高精度气垫隔振平台于2000年研制成功。该系列产品获得了上海市科技进步二等奖。HAP-100系列高精度气垫隔振平台具有非常优异的垂直和水平方向的隔振性能。
类型
参数
荷载能力
500-800KG
充气压力
最大0.6Mpa
固有频率
＜1~1.8HZ
台面平面度
0.10mm/m²
最大相对位移
0.22nm~0.7nm
最大动扰度系数
1.1×10-3~3.5X10-3
